产品特性:离子注入 | 加工定制:是 | 品牌:SiC用高温离子注入设备 IH-860DSIC |
型号:研究开发用中电流离子注入设备IMX-3500 | 用途:研究开发用中电流离子注入设备IMX-3500 | 订货号:研究开发用中电流离子注入设备IMX-3500 |
货号:研究开发用中电流离子注入设备IMX-3500 | 别名:研究开发用中电流离子注入设备IMX-3500 | 规格:研究开发用中电流离子注入设备IMX-3500 |
是否跨境货源:否 |
研究开发用中电流离子注入设备IMX-3500
中电流离子注入装置IMX-3500为能量200keV、对应晶圆尺寸8inch的离子注入装置,适用于大学等机构的研究开发。
产品特性 / Product characteristics
? 晶圆尺寸8inch,搭载了可对应不定形基板的台板。
? 离子源,除Gas source之外,另外可以使用安全方面更容易处理的B、P、As离子等固体蒸发源。
? HV terminal的部分,与量产装置是同样的构成,可确保高信赖性。
产品应用 / Product application
? 教育、研究开发等