产品特性:离子注入 | 加工定制:是 | 品牌:ULVAC爱发科 |
型号:高能对应离子注入设备SOPHI-400 | 用途:高能对应离子注入设备SOPHI-400 | 订货号:高能对应离子注入设备SOPHI-400 |
货号:高能对应离子注入设备SOPHI-400 | 别名:高能对应离子注入设备SOPHI-400 | 规格:高能对应离子注入设备SOPHI-400 |
是否跨境货源:否 |
高能对应离子注入设备SOPHI-400
可对应至2400KeV的高能离子注入装置。
产品特性 / Product characteristics
? 枚叶式
? 可对应薄片Wafer
? 平行Beam
产品应用 / Product application
? 功率器件相关薄片基板工艺、IGBT工艺