| 产品特性：离子注入 | 加工定制：是 | 品牌：SiC用高温离子注入设备 IH-860DSIC |
| 型号：SiC用高温离子注入设备 IH-860DSIC | 用途：SiC用高温离子注入设备 IH-860DSIC | 订货号：SiC用高温离子注入设备 IH-860DSIC |
| 货号：SiC用高温离子注入设备 IH-860DSIC | 别名：SiC用高温离子注入设备 IH-860DSIC | 规格：SiC用高温离子注入设备 IH-860DSIC |
| 是否跨境货源：否 |
离子注入设备
SiC用高温离子注入设备 IH-860DSIC
搭载了高温ESC（静电吸附卡盘）的面向SiC量产用的高能粒子注入装置。
产品特性 / Product characteristics
? 可实现自动连续高温处理注入
? 1价离子可注入至350keV、2价离子可注入至700keV
（Option：1价离子可注入至430keV、2价离子可注入至860keV）
? 通过Dual-End-Station（双工位）实现高产能；
（A系4"高温ESC/B系3"高温ESC、A系6"高温ESC/B系6"常温ESC等等，可配合客户的希望就行规格配置）
? 可减轻操作员的负担
? 紧凑式设计
? 可大范围对应从试作到量产的各类需求
产品应用 / Product application
? 对应SiC的离子注入装置。
