| 产品特性：纳米压印 | 加工定制：是 | 品牌：EVG 纳米压印光刻（NIL） |
| 型号：EVG 纳米压印光刻（NIL） | 用途：EVG 纳米压印光刻（NIL） | 订货号：EVG 纳米压印光刻（NIL） |
| 货号：EVG 纳米压印光刻（NIL） | 别名：EVG 纳米压印光刻（NIL） | 规格：EVG 纳米压印光刻（NIL） |
| 是否跨境货源：否 |
EVG?7200 Automated SmartNIL? UV Nanoimprint Lithography S
EVG?7200 自动化SmartNIL?UV纳米压印光刻系统
具有EVG***SmartNIL?技术的自动全场UV纳米压印解决方案（200毫米）
技术数据
EVG7200系统利用EVG的创新SmartNIL技术和EVG的材料专长来实现微米级和纳米级结构的批量生产。该系统将SmartNIL的***软印和压印功能带到了更大的基板和更小的几何形状上，批量生产时的分辨率低至40 nm *。这带来了更大的拥有成本（CoO）收益，并实现了纳米压印光刻技术的全部制造潜力。
*分辨率取决于过程和模板
特征
体积验证的压印技术，具有***复制保真度
***SmartNIL?技术和多次使用的聚合物印模技术
集成式压印，UV固化，脱模和工作印模制作
盒带到盒带自动处理以及半自动R＆D模式
可选的顶部对齐
可选的迷你环境
适用于所有市售压印材料的开放平台
从研发到生产的可扩展性
系统外壳，可实现过程稳定性和可靠性
技术数据
晶圆直径（基板尺寸）75至200毫米；
解析度≤40 nm（分辨率取决于模板和工艺）
支持流程：SmartNIL?
曝光源：大功率LED（i线）> 400 mW /cm?
对准：可选的顶部对齐
自动分离：支持的
迷你环境和气候控制：可选的
工作印章制作：支持的
