| 产品特性：纳米压印 | 加工定制：是 | 品牌：EVG 纳米压印光刻（NIL） |
| 型号：EVG 纳米压印光刻（NIL） | 用途：EVG 纳米压印光刻（NIL） | 订货号：EVG 纳米压印光刻（NIL） |
| 货号：EVG 纳米压印光刻（NIL） | 别名：EVG 纳米压印光刻（NIL） | 规格：EVG 纳米压印光刻（NIL） |
| 是否跨境货源：否 |
EVG?720
Automated SmartNIL? UV Nanoimprint Lithography System
EVG?720 自动化SmartNIL?UV纳米压印光刻系统
具有EVG***SmartNIL?技术的自动全场UV纳米压印解决方案（150毫米）
技术数据
EVG720系统利用EVG的创新SmartNIL技术和材料专业知识，能够大规模制造微米和纳米级结构。具有SmartNIL技术的EVG720系统能够在大面积上印刷小至40 nm *的纳米结构，具有***的吞吐量，非常适合批量生产下一代微流体和光子器件，例如衍射光学元件（ DOEs）。 *分辨率取决于过程和模板
特征
体积验证的压印技术，具有***复制保真度
***SmartNIL?技术和多次使用的聚合物印模技术
集成式压印，UV固化脱模和工作印模制造
盒带到盒带自动处理以及半自动R＆D模式
可选的顶部对齐
可选的迷你环境
适用于所有市售压印材料的开放平台
从研发到生产的可扩展性
系统外壳，可实现过程稳定性和可靠性
