| 产品特性：纳米压印 | 加工定制：是 | 品牌：EVG 纳米压印光刻（NIL） |
| 型号：EVG 纳米压印光刻（NIL） | 用途：EVG 纳米压印光刻（NIL） | 订货号：EVG 纳米压印光刻（NIL） |
| 货号：EVG 纳米压印光刻（NIL） | 别名：EVG 纳米压印光刻（NIL） | 规格：EVG 纳米压印光刻（NIL） |
| 是否跨境货源：否 |
纳米压印光刻（NIL）
EVG是纳米压印光刻（NIL）设备和集成工艺的市场***供应商。 EVG从15年前的研究方法中率先并掌握了NIL，并实现了从2英寸化合物半导体晶圆到300 mm晶圆甚至大面积面板的各种尺寸基板的批量生产。 NIL是产生纳米尺度分辨率图案的最有前途且***成本效益的工艺，可用于生物MEMS，微流体，电子学以及最近各种衍射光学元件的各种商业应用。
UV-NIL /SmartNIL?系统
EV Group为基于紫外线的纳米压印光刻（UV-NIL）提供完整的产品线，包括不同的单步压印系统，大面积压印机以及用于高效母版制作的分步重复系统。
热压花系统
EVGroup的一系列高精度热压花系统基于该公司市场***的晶圆键合技术。热压印是一种具有很高复制精度的经济高效且灵活的制造技术。
