| 产品特性：纳米压印 | 加工定制：是 | 品牌：EVG 纳米压印光刻（NIL） |
| 型号：EVG 纳米压印光刻（NIL） | 用途：EVG 纳米压印光刻（NIL） | 订货号：EVG 纳米压印光刻（NIL） |
| 货号：EVG 纳米压印光刻（NIL） | 别名：EVG 纳米压印光刻（NIL） | 规格：EVG 纳米压印光刻（NIL） |
| 是否跨境货源：否 |
UV-NIL /SmartNIL?系统
EV Group为基于紫外线的纳米压印光刻（UV-NIL）提供完整的产品线，包括不同的单步压印系统，大面积压印机以及用于高效母版制作的分步重复系统。除了柔软的UV-NIL，EVG还提供其***SmartNIL技术以及多种用途的聚合物印模技术。高效，强大的SmartNIL工艺可提供高图案保真度，高度均匀的图案层和最少的残留层，并具有易于调整的晶圆尺寸和产量。
EVG的SmartNIL兑现了纳米压印的长期承诺，即纳米压印是一种用于大规模生产微米和纳米级结构的高性能，低成本和具有批量生产能力的技术。
选择您的UV-NIL /SmartNIL?系统
EVG?610 UV-纳米压印光刻系统
具有紫外线纳米压印功能的通用研发掩膜对准系统，从小件到150毫米
EVG?620NT SmartNIL?UV纳米压印光刻系统
具有紫外线纳米压印功能的通用掩模对准系统，采用EVG***SmartNIL?技术，可达100 mm
EVG?6200NT SmartNIL?UV纳米压印光刻系统
具有紫外线纳米压印功能的通用掩模对准系统，采用EVG***SmartNIL?技术（150毫米）。
EVG?720 自动化的SmartNIL?UV纳米压印系统
具有EVG***SmartNIL?技术的自动全场UV纳米压印解决方案可达150毫米。
EVG?7200 自动化SmartNIL?UV纳米压印光刻系统
具有EVG***SmartNIL?技术的自动全场UV纳米压印解决方案200毫米
EVG?7200LA 自动化的大面积SmartNIL?UV纳米压印光刻系统
大面积***的共形纳米压印光刻技术。
HERCULES?NIL 完全集成的SmartNIL?UV-NIL系统
完全集成的纳米压印光刻解决方案，用于大规模生产，具有EVG***SmartNIL?压印技术。
EVG?770 分步重复纳米压印光刻系统
分步重复纳米压印光刻技术，可实现高效的母版制作。
IQAligner? 自动化紫外线纳米压印光刻系统
高精度UV压印系统，用于晶圆级透镜成型和堆叠。
