| 产品特性：全自动原子 | 是否进口：否 | 产地：美国 |
| 加工定制：否 | 品牌：布鲁克 | 型号：Dimension Edge |
| 测量范围：XY: 90μm x 90μm | 测量精度：0.1微米 | 分辨率：0.1nm |
| 电源电压：380V | 用途：表征测量 | 光学系统光学系统：5百万像素数字摄像 |
| 控制器：NanoScope V | 马达驱动样品台(X-Y轴：180mm × 150mm |
bruker 全自动原子力显微镜 InSight CAP
——紧凑型高性能剖面仪和AFM
Bruker的InSight CAP自动原子力轮廓仪是专门为半导体制造商和供应商设计的CMP和蚀刻计量组合平台。灵活的配置支持从100毫米到300毫米的晶圆尺寸，可实现广泛终端应用的***测量。从高生产率的实验室到全自动化的工厂，InSight CAP profiler可以优化配置，以获得具成本效益的计量解决方案。
·<0.5 nm长期动态再现性
用于关键工艺决策的直接、稳定的在线计量
·亚纳米
CMP自动计量的灵敏度，专用碟形和腐蚀计量包，用于***的过程控制和开发
·<20nm
仿形平面度大于26mm
针对关键EUV光刻技术开发和过程控制的高精度CMP后平面度计量
在线计量结果以分钟为单位，适用于蚀刻和CMP的技术开发和过程控制
在***技术节点，多模式光刻技术对CMP提出了纳米级的过程控制要求，以满足聚焦深度需求。InSight CAP围绕***AFM扫描仪构建，在65μm X/Y扫描范围内提供改进的平坦度，小于10纳米。该系统的NanoScope?V 64位AFM控制器提供了5倍更快的啮合性能和5倍更快的调整速度，以提高生产效率，所有这些都提高了可靠性。其DT自适应扫描模式也有助于加快扫描速度和改进计量。InSight CAP高分辨率剖面仪结合了多项***功能，可在宏观凹陷和侵蚀中实现埃级精度测量。
灵活的配置支持从100毫米到300毫米的晶圆尺寸，可实现广泛终端应用的***测量。从高生产率的实验室到全自动化的工厂，InSight CAP profiler可以优化配置，以获得具成本效益的计量解决方案。
