产品特性:卧式热反应 | 加工定制:是 | 品牌:centrotherm 德国 |
型号:卧式热反应系统 | 用途:卧式热反应系统 | 订货号:卧式热反应系统 |
货号:卧式热反应系统 | 别名:卧式热反应系统 | 规格:卧式热反应系统 |
是否跨境货源:否 |
E2000-大批量生产的卧式炉
centrotherm 2000专为大批量生产而设计,支持多种工艺能力,适用于大批量生产和高工艺性能的用户,并具有突出的高性能、占地面积小、低购置成本等优势。该产品对多种应用要求的高工艺具有的灵活性,并可高达4层石英管或硅片尺寸可达300毫米的SiC工艺管
特点:
适用于常压以及LPCVD和PECVD工艺
特殊工艺腔体3或4种版本可供选择
***的冷却系统:不同炉管之间没有热干扰
全自动片架传送系统
模块化部件设计,便于在洁净室安装调试