| 产品特性：卧式热反应 | 加工定制：是 | 品牌：centrotherm 德国 |
| 型号：卧式热反应系统 | 用途：卧式热反应系统 | 订货号：卧式热反应系统 |
| 货号：卧式热反应系统 | 别名：卧式热反应系统 | 规格：卧式热反应系统 |
| 是否跨境货源：否 |
E1550-初步小规模生产的卧式炉
centrotherm E1550 ***化系统，支持多种工艺能力，适用于中等生产能力和高工艺性能用户，是一款安全、可靠、易于维护的卧式扩散炉平台。该炉可高达4层石英管或SiC工艺管， 其硅片尺寸可达300毫米的。凭借其低维护和运行成本、及占地面积小等优势， E1550 可以生产出***成本效益的产品。
特点：
适用于常压以及LPCVD和PECVD工艺
特殊工艺腔体3或4种版本可供选择
***的冷却系统:不同炉管之间没有热干扰
全自动片架传送系统
模块化部件设计，便于在洁净室安装调试
