| 产品特性：掩膜对准 | 加工定制：是 | 品牌：EVG |
| 型号：EVG?610 | 用途：光电显示滤光片纳米压印 | 订货号：EVG?610 |
| 货号：EVG?610 | 别名： 紫外线纳米压印光刻系统 | 规格：齐全 |
| 是否跨境货源：否 |
EVG?610 Mask Alignment System
EVG?610 掩模对准系统
EVG?610是一款紧凑的多功能研发系统，可处理200mm以下的小基板片和晶圆。
技术数据
EVG610支持多种标准光刻工艺，例如真空，硬，软和接近曝光模式，并可选择背面对准。此外，该系统还提供其他功能，包括键对准和纳米压印光刻（NIL）。 EVG610提供快速的处理和重新安装工具，可在不到几分钟的时间内转换用户需求。其***的多用户概念可以适应从初学者到专家级别的所有需求，因此使其非常适合大学和研发应用。
特征
晶圆/基片尺寸从200 mm / 8&＃39;’ 顶侧和底侧对齐能力
高精度对准台 自动楔形补偿序列
电动和配方控制的曝光间隙 支持***的UV-LED技术
最小化系统占地面积和设施要求 分步流程指导
远程技术支持：
多用户概念（***数量的用户帐户和配方，可分配的访问权限，不同的用户界面语言）
敏捷处理和转换重组；台式或带防震花岗岩台的单机版
附加功能：
键对齐 红外对准 纳米压印光刻（NIL）
技术数据
对齐方式：上侧对齐：≤±0.5 ?m 底面要求：≤±2,0 ?m
红外校准：≤±2,0 ?m /基板材料，具体取决于
键对准：≤±2,0 ?m NIL对准：≤±2,0 ?m
曝光源：汞光源/紫外线LED光源 楔形补偿 全自动-SW控制
晶圆直径（基板尺寸）：高达100/150/200毫米
曝光设定：真空接触/硬接触/软接触/接近模式
曝光选项：间隔暴露/洪水暴露/扇区暴露
***的对齐功能：手动对准/原位对准验证 手动交叉校正 大间隙对齐
系统控制：作业系统：Windows
文件共享和备份解决方案/***制配方和参数；多语言用户GUI和支持：CN，DE，FR，IT，JP，KR；实时远程访问，诊断和故障排除；
纳米压印光刻技术，紫外线零。
