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  • 主营产品: 半导体设备 科研 微纳米加工 检测设备
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SENTECH SENpro经济型可变入射角光谱椭偏仪 可测量单层膜或多层膜的膜厚、折射率和消光系数
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SENTECH SENpro经济型可变入射角光谱椭偏仪 可测量单层膜或多层膜的膜厚、折射率和消光系数

SENpro可测量单层膜或多层膜的膜厚、折射率和消光系数。也能够测量各角度入射反射光谱和透射光谱,并同椭偏测量数据结合分析。使用补偿器,可自动纠正非理想薄膜导致的退偏效应。

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加工定制:否品牌:SENTECH型号:SENpro
用途:多角度或单角度入射快速测量并分析数据别名:椭偏仪规格:1

SENTECH SENpro经济型可变入射角光谱椭偏仪 可测量单层膜或多层膜的膜厚、折射率和消光系数详细介绍

SENTECH SENpro经济型可变入射角光谱椭偏仪


SENpro 是全新的经济型光谱椭偏仪的代表, 操作简易, 多角度或单角度入射快速测量并分析数据。 SENpro可测量单层膜或多层膜的膜厚、折射率和消光系数。也能够测量各角度入射反射光谱和透射光谱,并同椭偏测量数据结合分析。使用补偿器,可自动纠正非理想薄膜导致的退偏效应。

SENpro 带有光谱椭偏仪分析软件 SpectraRay LT,可对系统硬件控制和数据分析, 如测量数据、建模、拟合和输出结果。

主要应用:

1,测量透明薄膜的厚度和折射率(厚度范围0.1 nm - 10,000 nm),可工作于透明或吸收基底。 ,

2,测量多层膜 

3,分析非晶硅、多晶硅薄膜和SOI膜

4,测量光刻胶的光学常数

5,分析有机薄膜

6,测量各向异性材料和薄膜










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