| 加工定制：否 | 品牌：SENTECH | 型号：500adv CER |
| 用途：可作为激光椭偏仪，CER组合式椭偏仪或反射膜厚仪FTPadvanced操作 | 别名：椭偏仪 | 规格：1 |
SENTECH 500adv CER组合椭偏仪
高性能、高可靠性，拥有业内测量精度。可测量两层膜厚度，或一层膜厚度和折射率。CER模式，可结合反射式膜厚仪和激光椭偏仪，给出测量数据。选件与SE400选件相同
迄今为止最简单易用的椭偏仪
SE 500adv结合椭偏测量和反射测量
可消除椭偏测量对透明膜厚度的周期不确定性
膜厚测量范围可扩展至25000 nm.
激光波长632.8 nm
反射计光谱范围450 nm-920 nm
光斑直径80 μm
150 mm (z-tilt)样品台
角度计，可变入射角度，步进5°
LAN连接电脑
CER组合椭偏仪SE 500advanced可作为激光椭偏仪，CER组合式椭偏仪或反射膜厚仪FTPadvanced操作。比常规激光椭偏仪有更好的适应性。
作为椭偏仪操作
单角度和多角度测量，可测量最多三层膜的厚度和光学参数，测量波长632.8nm，有的测量精度。
作为反射式膜厚仪FTPadvanced操作
白光正入射测量，可测量透明膜或弱吸收薄膜，厚度可达25μm。配置更***的软件FTPexpert后能够测量多层膜。
作为CER组合椭偏仪操作
解决了透明膜的周期不确定性问题，并由于确定的膜厚周期，折射率测量精度***增加。可测量透明膜的Cauchy系数。
