| 产品特性：CAMTEK FRT | 加工定制：是 | 品牌：CAMTEK |
| 型号：CAMTEK FRT | 用途：光学表面量测仪 | 别名：光学表面量测仪 |
| 规格：光学表面量测仪 |
FRT光学表面量测仪器 The MicroProf?- Series适用于三维表面计量、研究系统和生产；涉及非接触式无损测量、粗糙度、轮廓、形貌和薄膜厚度等测试方式。
适用于硅片Si、化合物(GaAs, InP, SiC, GaN)样片的整体厚度检测及TTV/BOW/Warp翘曲等几何参数检测，该设备可以兼容透明片和不透明片。
FRT Microprof系列设备是针对半导体行业的样片厚度及TTV/BOW/Warp翘曲检测的设备方案。该设备利用白光的光源，上下双探头的设计，测试时样片放置在上下两个探头的中间位置，一次测试可以快速的提供样片厚度及几何参数相关的所有信息：厚度，TTV,Bow,Warp,TIR,LTV等。
同时该设备可以搭载红外IR的探头，该探头可以穿透Si/GaAs等材料，监控背面减薄制程前后Si片或者GaAs片的厚度。FRT Microprof系列设备以其精准的测量能力，非接触的测量方式，快速的测试速度，上下双探头符合SEMI标准的测试方式，使得该设备在半导体，MEMS，在化合物外延领域拥有很高的***。FRT 总部位于德国贝吉施格拉德巴赫，是一家针对***封装和 SiC 器件的高精度计量解决方案供应商。
多传感器技术创造了的灵活性：
在现代3D表面计量中，FRT的MicroProf?被确立为标准测量工具。它可用于快速、高效和直观地执行各种测量任务。
MicroProf?已在半导体、微电子、医疗和汽车行业使用多年。地形、台阶高度、粗糙度、层厚和其他参数可以非接触式、非破坏性地测量。
随着FRT开发的多传感器技术，不同的光学测量方法可以组合在一个工具中。根据要求，MicroProf?能够快速测量整个样品的概览以及高分辨率的细节测量——这是通过点、线、表面和层厚传感器以及扫描力显微镜的组合实现的。测量范围可以从米到亚纳米不等。
使用FRT软件，测量任务可以手动或全自动单独配置和实施。
MicroProf?是一种高精度测量工具，可以灵活改装，也节省了空间。
从上下两面扫描样品，使用TTV选项，可以进行双面样品测试。在相同的测量过程中可以测量样品的上侧和下侧，也可以确定样品厚度。可以输出总厚度变化（TTV）和其他表面参数，如粗糙度、弯曲、翘曲，两个表面的平整度或两侧的平行度。TTV选项可以轻松改装。
样品处理：
即使在自动化测量过程中，自动样本处理也能实现高吞吐率。半导体、MEMS和LED行业尤其需要全自动测量。与MicroProf?MHU，甚至可以对不同样品或晶片进行全自动测量。MicroProf?可全自动分析直径为2至12英寸的晶片，最多四个盒，并完全集成到生产过程中。可选地，测量系统可以配备用于根据所需标准进行样品分选。也可以集成其他样品处理系统，例如SCARA机器人。
适用于任何大小的样本：
测量系统可以提供不同的版本。根据样本大小，配置样本架和行程范围。
最小的版本是MicroProf?100，一种桌面工具。两个较大的独立系统，MicroProf?200和MicroProf?300，主要在行程范围大小上有所不同。物料搬运装置（MHU）也可用于这两个系统。从手动测量和评估到带样本处理的全自动执行，您可以自己确定自动化程度。
相应的软件和硬件组件概述如下。
不同温度下的表面测量
在热负荷下，组件会发生变化或变形，导致故障甚至故障。因此，在电子工程中，样品的地形评估是不可或缺的以及材料技术。使用MicroProf?TL，您可以在受控的热负荷下测量不同组件的表面形貌。为此，将样品放置在封闭室（玻璃盖）中的加热和冷却板上并加热或冷却。样品温度可以***调节和变化具有可单独配置的温度曲线。不同温度下表面形貌的全自动测量和恒温下的停留时间都是可调的。该热单元可作为所有FRT工具的扩展，并作为单独的模块安装。
NTUITIVE用户指南-获取
通过简单的步骤，FRT软件Acquire引导您完成手动测量，从打开工具到执行测量过程。借助结构化的用户指南，您可以轻松执行所有操作
各种手动测量。所有使用的传感器都可以通过软件用户界面进行控制。无论是点测量、剖面测量还是三维测量：设置测量参数，通过直观的实时显示进行监控，并在之后保存您的测量数据。
综合分析&MARK III
Mark III分析软件（由FRT开发）提供了一个全面的软件包，用于处理、评估和呈现您的2D或3D测量结果。实现了***的标准，包括粗糙度和波纹度的计算，以及许多处理和滤波功能。选择正确的分析-
sis功能为您的应用提供了广泛的选项，例如平整度、台阶高度、层厚等。以3D、纵断面图或俯视图的形式展示您的结果，并设计自己的测量报告。这款用户友好的软件还包括各种导入和导出功能，可以在一个测量系列中自动执行多个处理和评估步骤。
MicroProf?300
FRT MicroProf?300是高性能、多功能MicroProf系列的一部分，采用我们成熟的SurfaceSens技术。该工具在质量***、开发和制造中特别有用，其中必须在不破坏样品的情况下无接触地确定与理想表面形状的最小偏差，表面精度低至亚μm范围。除了样品表面的粗糙度外，形状也是最重要的参数之一。必须***地确定窄公差。FRT MicroProf 300非常适合这些要求，也可以集成到全自动化生产中。广泛的传感器和进行双面样品检查（TTV）的选项使MicroProf 300能够随时适应您的测量任务。此外，测量的简单自动化提高了生产率和过程可靠性。
集锦
可用的全方位多传感器设置
带附加照明的集成摄像头
带TFT显示器的控制和测量计算机
高精度轴的电动传感器方法
垂直缝合功能，扩大高度测量范围
具有高运动和定位精度的快速xy精密工作台
稳定的花岗岩结构，具有优异的阻尼性能
使用FRT Acquire软件进行简单高效的控制
通过FRTs Acquire Automation XT计量软件实现全自动2D和3D测量
用户友好的FRT Mark III评估软件，根据DIN-***和SEMI标准提供多种评估和显示选项
