| 产品特性：SEMSYSCO | 加工定制：是 | 品牌：SEMSYSCO |
| 型号：TRITON单晶片平台 | 用途：SEMSYSCO | 别名：SEMSYSCO |
| 规格：SEMSYSCO |
TRITON SINGLE WAFER PLATFORM
TRITON单晶片平台
从其创立到2013年***交付，Triton平台被设计为适用于所有单晶圆湿法工艺的稳定但模块化的主力。
我们工具的模块化构建使我们的客户能够为大规模生产的单过程工具以及瑞士军刀研发或原型工具配置工具，而不会影响性能或可靠性。
构架
在模块化框架内，我们不断创新平台。
我们的客户可以选择为其工具配备高速电镀系统，以代替传统的喷泉式电镀机，或者选择一个上部腔室，该上部腔室允许在电镀腔室上方进行预润湿以及最终漂洗/干燥，而无需机械手移动。
灵活性
我们为客户提供的灵活性。可以随时准备工具来支撑其他腔室和/或容器，因此它会随着您的工艺需求而增长。我们的模块化思维使将新开发的腔室添加到具有扩展空间的现有工具中成为可能，从而确保了客户的投资前景。
TRITON CUSTOMER ADDED VALUES
***速度和质量记录
面向客户和未来
高度创新，可满足客户需求
每个腔室处理一种以上基板尺寸的可能性极小或无需重新配置
模块化平台
升级的新湿法
建立高通量处理室
TRITON HIGHLIGHTS
TRITON的亮点
处理3英寸至450 mm的基板
可以处理两到三种不同尺寸的基板，而无需进行最少的配置或无需重新配置-无需对腔室进行重新鉴定
获得专利的高速电镀技术可提供更高的通量和更好的均匀性-无需改变化学成分
准备好工业4.0 –控制和监视所有过程参数
电镀均匀度3％或更高
蚀刻均匀度3％或更高
在线加药系统
在线化学监测
在线气体检测以确保安全
多种蚀刻工艺的终点检测
