加工定制:否 | 品牌:EVG | 型号:EVG510HE |
用途:用于硬模压印和纳米印刷 | 订货号:111 | 货号:1111 |
别名:热压印 | 规格:1111 | 是否跨境货源:是 |
主要下游平台:其他 | 主要销售地区:其他 | 有可授权的自有品牌:否 |
纳米压印光刻(NIL)
EVG是纳米压印光刻(NIL)设备和集成工艺的市场供应商。 EVG从15年前的研究方法中率先并掌握了NIL,并实现了从2英寸化合物半导体晶圆到300 mm晶圆甚至大面积面板的各种尺寸基板的批量生产。 NIL是产生纳米尺度分辨率图案的最有前途且***成本效益的工艺,可用于生物MEMS,微流体,电子学以及最近各种衍射光学元件的各种商业应用。
UV-NIL /SmartNIL?系统
EV Group为基于紫外线的纳米压印光刻(UV-NIL)提供完整的产品线,包括不同的单步压印系统,大面积压印机以及用于母版制作的分步重复系统。
热压花系统
EVGroup的一系列高精度热压花系统基于该公司市场的晶圆键合技术。热压印是一种具有很高复制精度的经济且灵活的制造技术。