加工定制:否 | 品牌:德国 Centrotherm | 型号:c.RAPID 150 |
用途:研发和小规模量产 | 是否跨境货源:否 |
Centrotherm 快速退火炉-c.RAPID 150
一、产品简介
德国Centrotherm公司是国际主流的半导体设备供应商,尤其在高温设备领域。Centrotherm c.RAPID 150是一款高性能、多用途的快速退火设备,主要用于满足研发和小规模量产所需的多种工艺要求。
Centrotherm测温系统适用于从室温至高温的广泛区间。Centrotherm优化的多区温控系统结合可以独立控制的加热灯,提供了***控温精度和控温重复性。
此款设备配置手动装载系统,适用于研发以及小型的量产。
成熟的真空操作和气体管理系统为多种应用提供了可控的气体环境。***性能和高度的灵活性,结合小的占地面积,低的客户拥有成本,使c.RAPID 150成为一款佳的手动RTP设备。
二、典型应用
l 退火:一般退火、接触层(Contact)退火、源/漏退火、势垒金属退火
l 硅化
l 氧化
l 掺杂活化
三、产品特性
l 可在常压或者真空(控压)下工作
l 高度灵活性:适用于6寸的硅片或者可放置基片的6寸托盘
l 升温速率约150 K/s
l ***温度均匀性
l 确的环境控制
l 高的设备可靠性
l 可以并排安装