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  • 主营产品: 半导体设备 科研 微纳米加工 检测设备
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平行板式PECVD沉积系统
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平行板式PECVD沉积系统

是国际主流的半导体设备商,研发、制造和销售***的薄膜测量仪器(反射仪、椭偏仪、光谱椭偏仪)和等离子工艺设备(等离子刻蚀机、等离子沉积系统、用户定制系统)。电容平板式PECVD等离子沉积设备,主要用于SiO2,SiOxNy,SiNy,a-Si,SiC薄膜的沉积。适用于2"--8"样片的薄膜沉积。

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加工定制:是品牌:德国 SENTECH型号:SI 500 PPD
用途:科研是否跨境货源:否

平行板式PECVD沉积系统详细介绍

SENTECH 平行板式PECVD沉积系统-SI 500 PPD

SENTECH仪器(德国)有限公司是国际主流的半导体设备商,研发、制造和销售***的薄膜测量仪器(反射仪、椭偏仪、光谱椭偏仪)和等离子工艺设备(等离子刻蚀机、等离子沉积系统、用户定制系统)。

SI 500 PPD电容平板式PECVD等离子沉积设备,主要用于SiO2,SiOxNySiNya-SiSiC薄膜的沉积 。适用于2"--8" 样片的薄膜沉积



系统配置

? 电源13.56 MHz, 600 W
? 驱动电极集成了淋浴头和暗区屏蔽


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亚科电子成立于 1998 年,成立以来一直专注于半导体工艺设备、微纳米加工平台等领域的设备集成供应和技术服务。MEMS、3D 封装、化合物半导体、微波器件、功率器件等众多领域。目前亚科电子已经与众多微电子、半导体设备行业的***企业建立了良好的合作关系;EVG(光刻、键合)、Bruker(微纳检测)、TESCAN(扫描电镜) 是其中几家重要的合作伙伴。用户已遍及所有国内***集团、科研院所和高端研发制造企业等领域,在业内拥有良好的***。我公司已成为中国电子科技集团、中国航天、中国航空、中国船舶、中国兵器集团、中国科学院和高校等所属的众多科研单位及工厂的重要的合作伙伴。


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